Behavior analysis of comb-drive actuators operating in near-zero-overlap configuration
Origine | Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte |
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licence |
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Bernard Legrand : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://laas.hal.science/hal-04669764
Soumis le : vendredi 9 août 2024-13:39:58
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05